4H-жарым HPSI 2 дюймдук SiC субстрат пластинасы Өндүрүш Dummy Изилдөө классы

Кремний карбид субстраты негизинен өткөргүч жана жарым изоляциялоочу түргө бөлүнөт, өткөргүч кремний карбидинин субстраты n-түрү субстрат негизинен эпитаксиалдык GaN негизиндеги LED жана башка оптоэлектрондук шаймандар, SiC негизиндеги электр электрондук шаймандар, ж.б., жана жарым-жартылай изоляциялоочу SiC кремний карбидинин субстраты негизинен GaN жогорку кубаттуулуктагы радио жыштык түзүлүштөрүн эпитаксиалдык өндүрүү үчүн колдонулат.Мындан тышкары жогорку тазалыктагы жарым изоляциялык HPSI жана SI жарым изоляциясы ар түрдүү, 3,5 * 1013 ~ 8 * 1015 / см3 диапазонунда жогорку тазалыктагы жарым изоляция ташуучу концентрациясы, жогорку электрон мобилдүүлүк менен;жарым изоляция жогорку каршылыктуу материалдар болуп саналат, каршылык абдан жогору, жалпысынан микротолкундуу түзмөк субстраттары үчүн колдонулат, өткөргүч эмес.

Жарым изоляциялоочу кремний карбидинин субстрат баракчасы SiC пластинкасы

SiC кристалл түзүмү анын физикалык, Si жана GaAs салыштырмалуу аныктайт, SiC физикалык касиеттери үчүн бар;тыюу салынган тилке туурасы чоң, Si 3 эсеге жакын, аппарат узак мөөнөттүү ишенимдүүлүк астында жогорку температурада иштешин камсыз кылуу үчүн;бузулуу талаасынын күчү жогору, Сиден 1O эсе көп, аппараттын чыңалуу мүмкүнчүлүгүн камсыз кылуу, түзмөктүн чыңалуусун жакшыртуу;каныккан электрондун ылдамдыгы чоң, аппараттын жыштыгын жана кубаттуулугунун тыгыздыгын жогорулатуу үчүн Si караганда 2 эсе көп;жылуулук өткөргүчтүгү жогору, Si-дан ашык, жылуулук өткөргүчтүгү жогору, жылуулук өткөргүчтүгү жогору, жылуулук өткөргүчтүгү жогору, жылуулук өткөргүчтүгү жогору, Siдан ашык, жылуулук өткөргүчтүгү жогору, жылуулук өткөрүмдүүлүк жогору.Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, Si караганда 3 эседен ашык, аппараттын жылуулук таркатуучу жөндөмдүүлүгүн жогорулатуу жана аппаратты миниатюризациялоону ишке ашыруу.