Толугу менен автоматтык түрдө пластина шакекчесин кесүүчү жабдуу Жумушчу өлчөмү 8 дюйм/12 дюйм пластина шакекчесин кесүү

Толугу менен автоматтык түрдө пластина шакекчесин кесүүчү жабдык Жумушчу өлчөмү 8 дюйм/12 дюйм пластина шакекчесин кесүү Сунушталган сүрөт

Кыскача сүрөттөмө:

XKH компаниясы алдыңкы жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстери үчүн иштелип чыккан өнүккөн чечимди чагылдырган толугу менен автоматтык түрдө пластинанын четин кесүү системасын өз алдынча иштеп чыккан. Бул жабдуу инновациялык көп октуу синхрондуу башкаруу технологиясын камтыйт жана жогорку катуулуктагы шпиндель системасына ээ (максималдуу айлануу ылдамдыгы: 60 000 RPM), ал ±5 мкмге чейинки кесүү тактыгы менен четин кесүүнү камсыз кылат. Система ар кандай жарым өткөргүч субстраттар менен эң сонун шайкештикти көрсөтөт, анын ичинде, бирок алар менен чектелбейт:
1. Кремний пластиналары (Si): 8-12 дюймдук пластиналардын четтерин иштетүүгө ылайыктуу;
2. Кошулма жарым өткөргүчтөр: GaAs жана SiC сыяктуу үчүнчү муундагы жарым өткөргүч материалдар;
3. Атайын субстраттар: LT/LN камтыган пьезоэлектрдик материалдык пластиналар;

Модулдук дизайн алмаз бычактарды жана лазердик кесүүчү баштарды кошо алганда, бир нече керектелүүчү материалдарды тез алмаштырууну колдойт, шайкештиги тармактык стандарттардан ашып түшөт. Адистештирилген процесстик талаптар үчүн биз төмөнкүлөрдү камтыган комплекстүү чечимдерди сунуштайбыз:
· Кесүүчү керектелүүчү материалдарды атайын жеткирүү
· Ыңгайлаштырылган иштетүү кызматтары
· Процесстин параметрлерин оптималдаштыруу чечимдери

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Техникалык параметрлер

Параметр	Бирдик	Техникалык мүнөздөмө
Иштин максималдуу өлчөмү	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигурация	Бир шпиндель
	Ылдамдык	3000–60 000 айн/мин
	Чыгаруу кубаты	30 000 мин⁻¹ ылдамдыкта 1,8 кВт (2,4 кошумча)
	Max Blade Dia.	Ø58 мм
X огу	Кесүү аралыгы	310 мм
Y огу	Кесүү аралыгы	310 мм
	Кадамды көбөйтүү	0,0001 мм
	Позициялоо тактыгы	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (бир ката)
Z огу	Кыймылдын чечилиши	0,00005 мм
Z огу	Кайталануучулугу	0,001 мм
θ огу	Максималдуу айлануу	380 градус
Шпиндель түрү		Шакекче кесүү үчүн катуу бычак менен жабдылган бир шпиндель
Шакекче кесүүнүн тактыгы	мкм	±50
Вафли жайгаштыруунун тактыгы	мкм	±50
Бир пластиналуу эффективдүүлүк	мин/вафли	8
Көп пластиналуу эффективдүүлүк		Бир эле учурда 4кө чейин пластина иштетилет
Жабдуулардын салмагы	kg	≈3,200
Жабдуулардын өлчөмдөрү (Т×Т×Б)	mm	2730 × 1550 × 2070

Иштөө принциби

Система төмөнкү негизги технологиялар аркылуу өзгөчө кыркуу көрсөткүчтөрүнө жетишет:

1. Акылдуу кыймылды башкаруу системасы:
· Жогорку тактыктагы сызыктуу мотор (кайталап позициялоо тактыгы: ±0,5μm)
· Татаал траекторияны пландаштырууну колдогон алты огу бар синхрондуу башкаруу
· Кесүүнүн туруктуулугун камсыз кылган реалдуу убакыттагы титирөөнү басуу алгоритмдери

2. Өркүндөтүлгөн аныктоо системасы:
· Интеграцияланган 3D лазердик бийиктик сенсору (тактыгы: 0,1 мкм)
· Жогорку чечилиштеги CCD визуалдык позициялоо (5 мегапиксел)
· Онлайн сапатты текшерүү модулу

3. Толугу менен автоматташтырылган процесс:
· Автоматтык түрдө жүктөө/түшүрүү (FOUP стандарттык интерфейси менен шайкеш келет)
· Акылдуу сорттоо системасы
· Жабык цикл менен тазалоочу түзүлүш (тазалык: 10-класс)

Типтүү колдонмолор

Бул жабдуулар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө колдонулуучу тармактарда олуттуу баалуулуктарды камсыз кылат:

Колдонмо талаасы	Процесс материалдары	Техникалык артыкчылыктар
Интегралдык интегралдык өндүрүш	8/12" кремний пластиналары	Литографиянын тегизделишин жакшыртат
Кубат берүүчү түзүлүштөр	SiC/GaN пластиналары	Четки кемчиликтердин алдын алат
MEMS сенсорлору	SOI вафлилери	Аппараттын ишенимдүүлүгүн камсыз кылат
Радиожыштык түзүлүштөрү	GaAs пластиналары	Жогорку жыштыктагы аткарууну жакшыртат
Өркүндөтүлгөн таңгактоо	Калыбына келтирилген вафлилер	Таңгактоо кирешелүүлүгүн жогорулатат

Өзгөчөлүктөрү

1. Жогорку иштетүү натыйжалуулугу үчүн төрт станциялуу конфигурация;
2. TAIKO шакекчесин туруктуу ажыратуу жана алып салуу;
3. Негизги керектелүүчү материалдар менен жогорку шайкештик;
4. Көп октуу синхрондуу кесүү технологиясы четин кесүүнүн тактыгын камсыз кылат;
5. Толугу менен автоматташтырылган процесстин агымы эмгек чыгымдарын бир топ азайтат;
6. Ыңгайлаштырылган жумушчу столдун дизайны атайын структураларды туруктуу иштетүүгө мүмкүндүк берет;

Функциялар

1. Шакектин түшүп кетишин аныктоо системасы;
2. Автоматтык түрдө жумушчу столду тазалоо;
3. Акылдуу ультрафиолет нурларын ажыратуу системасы;
4. Операция журналын жазуу;
5. Заводду автоматташтыруу модулун интеграциялоо;

Кызмат көрсөтүү милдеттенмеси

XKH өндүрүштүк сапарыңызда жабдуулардын иштешин жана иштөө натыйжалуулугун максималдуу түрдө жогорулатуу үчүн иштелип чыккан комплекстүү, толук кандуу жашоо циклин колдоо кызматтарын көрсөтөт.
1. Ыңгайлаштыруу кызматтары
· Жабдуулардын конфигурациясы: Биздин инженердик команда кардарлар менен тыгыз кызматташып, системанын параметрлерин (кесүү ылдамдыгы, бычактарды тандоо ж.б.) белгилүү бир материалдык касиеттерге (Si/SiC/GaAs) жана процесстин талаптарына негиздеп оптималдаштырат.
· Процесстерди иштеп чыгууну колдоо: Биз үлгүлөрдү иштетүүнү сунуштайбыз, анын ичинде четтердин оройлугун өлчөө жана кемчиликтерди картага түшүрүү сыяктуу деталдуу анализ отчеттору бар.
· Керектелүүчү материалдарды биргелешип иштеп чыгуу: Жаңы материалдар (мисалы, Ga₂O₃) үчүн биз колдонмого тиешелүү бычактарды/лазердик оптиканы иштеп чыгуу үчүн алдыңкы керектелүүчү материалдарды өндүрүүчүлөр менен өнөктөштүк түзөбүз.

2. Кесипкөй техникалык колдоо
· Жергиликтүү колдоо: Критикалык этаптар (адатта 2-4 жума) үчүн сертификатталган инженерлерди дайындоо, төмөнкүлөрдү камтыйт:
Жабдууларды калибрлөө жана процесстерди так жөндөө
Оператордун компетенттүүлүгүн окутуу
ISO 5 класстагы таза бөлмөнү интеграциялоо боюнча көрсөтмө
· Алдын ала техникалык тейлөө: Плансыз иштебей калуулардын алдын алуу үчүн квартал сайын вибрацияны талдоо жана сервомотор диагностикасы менен ден соолукту текшерүү.
· Алыстан мониторинг жүргүзүү: Автоматташтырылган аномалиялар жөнүндө эскертүүлөр менен биздин IoT платформабыз (JCFront Connect®) аркылуу жабдуулардын иштешин реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө.

3. Кошумча нарк кызматтары
· Процесс боюнча билим базасы: Ар кандай материалдарды кесүү үчүн 300дөн ашык текшерилген рецепттерге мүмкүнчүлүк алыңыз (чейрек сайын жаңыланып турат).
· Технологиялык жол картасын шайкеш келтирүү: Аппараттык/программалык камсыздоону жаңыртуу жолдору менен инвестицияңызды келечекке ишенимдүү кылыңыз (мисалы, жасалма интеллектке негизделген кемчиликтерди аныктоо модулу).
· Шашылыш жардам: 4 сааттык аралыктан диагноз коюу жана 48 сааттык жер-жерлерде кийлигишүү кепилденет (дүйнөлүк камтуу).

4. Тейлөө инфраструктурасы
· Иштин натыйжалуулугуна кепилдик: SLA менен камсыздалган жооп берүү убактысы менен жабдуулардын иштөө убактысынын ≥98% га келишимдик милдеттенме.

Үзгүлтүксүз өркүндөтүү

Биз кардарлардын канааттануусу боюнча сурамжылоолорду жылына эки жолу жүргүзөбүз жана кызмат көрсөтүүнү жакшыртуу үчүн Кайдзен демилгелерин ишке ашырабыз. Биздин изилдөө жана иштеп чыгуу тобубуз талаадагы маалыматтарды жабдууларды жаңыртууга которот - микропрограммалык камсыздоону жакшыртуунун 30% кардарлардын пикиринен келип чыгат.